随着微电子学领域和光学领域及其相关技术的发展,对所需材料表面质量的要求越来越高,超光滑表面加工技术随之受到发展和重视。本文研究的线性液动压抛光加工技术具有加工精度高、材料去除均匀、无表面及亚表面损伤等优点,在工件的超光滑表面加工中具有很好的应用前景。本文对线性液动压抛光抛光加工方法进行了研究。基于流体力学和材料去除原理进行了理论分析。进行了流体仿真分析,研究了各设计参数和工艺参数对产生液动压力大小和分布的影响情况。搭建了线性液动压抛光加工试验平台,开展相关抛光加工试验,研究了加工工艺参数对加工效率和加工效果的影响,并验证了该方法的超光滑表面加工能力。论文主要研究内容如下:1、根据流体动力学基本方程、流体动压润滑理论以及材料去除机理,对该抛光加工方法进行了理论研究,揭示了线性液动压抛光加工实现材料去除的工作原理。2、通过ANSYS Fluent流体仿真软件进行了线性液动压抛光的数值模拟,分析了各参数对产生流体动压力大小和分布的变化规律,为后续抛光辊子设计及工艺参数的选择提供了依据。3、搭建了线性液动压抛光加工试验平台,对K9玻璃进行了抛光加工试验,试验结果表明线性液动压加工具有超光滑表面加工能力,加工后工件的表面粗糙度Ra达到0.91 nm。4、在不同加工工艺参数下,对工件的加工效率和加工效果进行了试验研究,根据分析结果对线性液动压抛光加工工艺参数进行了优化。通过上述仿真和试验研究表明,线性液动压抛光加工方法可以在工件表面产生更均匀的液动压力,并选择具有12个矩形微结构、直径150mm的抛光辊子作为加工工件;更大直径的抛光辊子、更高的转速和更小的抛光间隙都可以获得更大的流体动压力;但同时也会使动压力分布均匀性变差。通过抛光加工试验,进一步验证了各工艺参数对加工效率和加工效果的影响情况,并证明了线性液动压抛光加工方法的可行性及超光滑表面加工能力。