【摘 要】
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声表面波(Surface acoustic wave,SAW)是指声波在弹性体表面的传播,这个波被称为弹性声表面波。由于声表面波的传播速度比电磁波慢十万倍,而且在它的传播路径上容易取样和进行处理,因此,用声表面波去模拟电子学的各种功能,能使电子器件实现超小型化和多功能化。氮化铝(AlN)是一类重要的宽带隙Ⅲ-V族化合物半导体材料,其晶体结构为纤锌矿型。AlN具有许多优异的物理性能,在蓝光、紫外发光
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声表面波(Surface acoustic wave,SAW)是指声波在弹性体表面的传播,这个波被称为弹性声表面波。由于声表面波的传播速度比电磁波慢十万倍,而且在它的传播路径上容易取样和进行处理,因此,用声表面波去模拟电子学的各种功能,能使电子器件实现超小型化和多功能化。氮化铝(AlN)是一类重要的宽带隙Ⅲ-V族化合物半导体材料,其晶体结构为纤锌矿型。AlN具有许多优异的物理性能,在蓝光、紫外发光材料、外延过渡层和GHz级声表面波器件等方面有着重要的应用。在声表面波滤波器(SAWF)应用
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