【摘 要】
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该文探讨了面向微系统(MEMS)的微检测技术,内容分为两部分:一是基于微晶振的静电力显微测量技术;二是针对微小样品的热-机疲劳测试技术.静电力显微镜(EFM)以检测探针与样品间
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该文探讨了面向微系统(MEMS)的微检测技术,内容分为两部分:一是基于微晶振的静电力显微测量技术;二是针对微小样品的热-机疲劳测试技术.静电力显微镜(EFM)以检测探针与样品间范德华力与静电力为特征,用来测量样品微观表面形貌,以及研究样品局部电特性,如表面电热、表面电荷、铁电材料掺杂结构.六轴微小样品热-机疲劳试验机用于微小样品的力学特性测试,如薄膜材料、微小焊点、以及封装结构的疲劳寿命预测.该文提出了一种基于微石英晶振的动态非接触式静电力显微测量技术.其核心是采用微石英晶振构造多力传感器,取代传统的微悬臂和光学检测装置,即在微石英晶振前端粘结微小针尖构成原子力显微镜,在针尖与样品之间施加可调交流偏压信号构成静电力显微镜.一方面反馈控制保持范德华力恒定来跟踪样品表面可以获得样品表面形貌信息,同时利用锁相放大技术提取静电力信号来获得样品表面电特性.
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