随着社会的发展和科学技术的进步,现代社会对测量实验仪器的需求及其性能要求在不断提高。虚拟仪器改变了传统仪器的思想,充分利用计算机强大的软硬件功能,把计算机技术与仪器技术完美结合,它代表了仪器发展的新方向。本课题是贵州省科技厅自然科学基金项目的一个辅助予项目,该予项目针对虚拟MBE/RHEED实验室的搭建展开研究。本课题深入探究分子束外延（MBE）和反射式高能电子衍射仪（RHEED）的结构及工作原理、样品砷化镓GaAs（001）As-rich（2×4）再构表面不同结构模型的原子排列结构以及与RHEED图谱的生成相关的固体物理学中的一些理论知识,如:晶格周期性,倒格矢,傅里叶变换,电子波矢,X射线衍射方程,反射公式和反射球原理等。在LabVIEW 8.2软件开发环境下,运用图形化编程语言,采用数据流编程方式,设计实现了单机版的虚拟RHEED实验系统,其包含用户信息验证模块实现用户注册和登录功能,系统帮助模块提供与实验相关的简介和图片,声音伴随播放模块,样品表面结构模型选择模块含α、β、β₂、γ相,入射电子束的活动因子输入模块含加速电压及入射方向和角度,出图放大清屏选择模块,颜色设置及恢复默认模块,模型特征参数显示模块含晶胞与二聚体的特征值,RHEED图谱显示模块展示理论情况下GaAs（001）As-rich（2×4）再构表面的各相结构模型的表面原子结构RHEED图谱以及实验结果保存模块。本课题的研究面向国内一流的大型仪器设备（德国Omicron公司的分子束外延和低温扫描隧道显微镜联合系统（MBE/LT-STM）中的配套设备之一RHEED）进行初步重点开发设计,MBE部分侧重于理论研究,此举具有一定的科研创新价值。此外,该研究兼顾保证高校实验教学质量和最大程度上节省高校的实验耗费两个方面的利益,因此具有重要的现实意义。