AZO透明导电薄膜的制备及表面改性

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透明导电氧化物薄膜是一类在可见光透明的宽带隙氧化物半导体,因此也称之为半导体薄膜。它已在太阳能电池、液晶显示屏、高层建筑的玻璃幕墙、飞机上的防雾防结冰导热玻璃等产品上有着广泛应用。AZO透明导电薄膜是通过ZnO掺杂Al元素得到的,具有与ZnO薄膜相同的六方纤锌矿晶体结构。AZO薄膜与传统的ITO薄膜相比,具有良好的电学和光学性能,而且具有能源丰富、价格低廉、沉积温度低、热稳定性好等特点,它将是ITO薄膜的有力竞争者,甚至会代替ITO薄膜。因此对AZO薄膜的研究具有重要应用价值。本论文采用二水
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