【摘 要】
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近场光强分布作为激光器的重要性能参数之一,对激光器性能的评价具有重要意义。我们在进行红外激光器的研究过程中,迫切地需要对激光近场光强分布进行测量,由于该波段面阵探
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近场光强分布作为激光器的重要性能参数之一,对激光器性能的评价具有重要意义。我们在进行红外激光器的研究过程中,迫切地需要对激光近场光强分布进行测量,由于该波段面阵探测器难以购买,本文利用单元探测器和转筒扫描方法研制了测量激光束近场光强二维分布的装置。论文介绍了国内外用于激光光强分布测量的主要方法,对常用扫描测量方法的原理、误差、特点进行了分析。在具体比较各种扫描方案后,考虑实际测量要求,选用了转筒扫描的方法。对传统的转筒扫描方法进行了改进,增加了提供触发信号的狭缝,提出了使用精密升降台提高测量装置空间分辨率的方法。分析计算了测量装置的各种设计参数,对影响测量结果的主要因素进行了讨论,提出了减小测量误差的相应方法,设计并制作了可完成二维光强测量的转筒扫描测量装置。本文用研制的转筒扫描测量装置进行了三个实验,(1)装置测量结果的初步验证实验;(2)与光斑分析仪(LBA)测量结果的对比实验;(3)使用升降台和不使用升降台测量大光斑强度分布的对比实验。采用FFT去噪法和Zernike多项式拟合法等测量数据处理方法,得到了光强分布的灰度图和三维网格图。将本文测量的结果与LBA光斑分析仪的测量结果进行了比较,本文测得小光斑水平方向宽度和LBA的测量结果相比,相对误差为13%,竖直方向宽度和LBA的测量结果相比,相对误差为6%。水平方向两组光强数据的相关系数为99.18%,竖直方向两组光强数据的相关系数为98.66%。结合测量结果,分析了测量误差产生的原因。还将使用升降台和不使用升降台对大光斑进行测量得到的结果进行了对比,表明使用升降台可以有效提高测量的分辨率。实验结果表明:本文研制的转筒扫描光强测量装置测量结果是准确可靠的。
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