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基于压电陶瓷驱动器的微纳定位系统建模与控制
【摘 要】
:
基于压电陶瓷驱动器的微纳定位系统由于具有能耗低、响应速度快和无摩擦力等优点,可以实现微纳米级别的定位精度,因此被广泛应用在各类精密制造和微纳定位技术等领域中。然而该定位系统本质中存在的迟滞、蠕变等非线性特性会直接影响压电驱动定位系统的性能,降低其控制精度,严重时甚至导致整个系统的不稳定。因而如何根据压电驱动定位系统的特性来精确的建立数学模型以及对定位系统进行补偿控制已成为现代精密定位技术研究中的一
【出 处】
:
中原工学院
【发表日期】
:
2021年01期
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