【摘 要】
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本文利用磁控反应溅射技术，以高纯度钛(Ti)为靶材，氧气为活性气体，在PET基底上反应溅射沉积TiO_2，将纳米TiO_2的光催化氧化特性应用于高聚物表面改性，为进一步开发抗菌织物打下基础。 首次在高分子PET基底上溅射沉积了氧化钛薄膜。利用扫描电镜(SEM)结合原子力显微镜(AFM)研究了的溅射膜的表面形貌及成膜机理，并系统研究了各工艺条件(放电功率、工作压力、溅射处理时间、氧氩比等)对表
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本文利用磁控反应溅射技术，以高纯度钛(Ti)为靶材，氧气为活性气体，在PET基底上反应溅射沉积TiO_2，将纳米TiO_2的光催化氧化特性应用于高聚物表面改性，为进一步开发抗菌织物打下基础。 首次在高分子PET基底上溅射沉积了氧化钛薄膜。利用扫描电镜(SEM)结合原子力显微镜(AFM)研究了的溅射膜的表面形貌及成膜机理，并系统研究了各工艺条件(放电功率、工作压力、溅射处理时间、氧氩比等)对表面形貌的影响。与以往报道的生长模式不同，发现在很短的时间内即可在基底上溅射生成致密
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