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反应磁控溅射与脉冲电弧制备DLC薄膜技术研究

来源 :西安工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ponny2006

【作 者】

：

张艳茹 

【出 处】

：

西安工业大学

【发表日期】

：

2018年09期

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