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超短脉冲激光与透明电介质的相互作用,已经成为一个国际上的研究热点。本文总结了超短脉冲激光与电介质材料相互作用的物理机制,重点讨论了雪崩电离和多光子电离过程。并且以熔融石英玻璃为例分析了碰撞电离系数和多光子电离系数与激光入射强度之间的关系。对超短脉冲激光烧蚀透明电介质材料的相互作用进行了理论分析,得出了超短脉冲激光烧蚀电介质材料的烧蚀阈值、烧蚀深度与脉冲宽度和光子能量之间的关系。对激光烧蚀透明电介质材料进行了数值模拟,得出激光的能量平衡分布、吸收的能量沿传播波方向的分布、吸收能量的空间分布、最大自由电子密度的变化。