【摘 要】
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本文探讨了衬底材料掺杂浓度、陷阱浓度、外界入射脉冲光及外加电压等因素对不同尺寸的光导开关的工作特性的影响,具体分析了其机理以及对于改善光导开关工作性能的意义。采用钒掺杂半绝缘n型6H-SiC作为衬底建立横向光导开关模型,当横向总宽度150μm、电极宽度30μm、纵向厚度15μm时,陷阱浓度为1×1015cm-3的光导开关暗电阻达3×106Ω,比陷阱浓度为1×1014cm-3的光导开关暗电阻率增加了
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本文探讨了衬底材料掺杂浓度、陷阱浓度、外界入射脉冲光及外加电压等因素对不同尺寸的光导开关的工作特性的影响,具体分析了其机理以及对于改善光导开关工作性能的意义。采用钒掺杂半绝缘n型6H-SiC作为衬底建立横向光导开关模型,当横向总宽度150μm、电极宽度30μm、纵向厚度15μm时,陷阱浓度为1×1015cm-3的光导开关暗电阻达3×106Ω,比陷阱浓度为1×1014cm-3的光导开关暗电阻率增加了高达104倍。因此通过控制陷阱浓度可以有效改善光导开关的暗态特性。瞬态光电流上升
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