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轻元素检测方法的研究是钢铁、冶金、地质和环境等领域中的一个重要研究课题。本文在分析国内外掠射X射线荧光分析技术的基础上，对能量色散掠出射软X射线荧光探测方法进行了深入的研究。 本文工作中依据软X射线荧光的特点，在实验室建立了一套软X射线荧光测量装置，该装置由X射线管、精密微调样品台、真空系统和流气正比计数管探测系统以及多道分析仪组成，并采用~(55)Fe标准光源对系统进行实际标定。实际测得了流气正比计数管阳极高压、工作气压和环境温度对软X射线荧光测量装置测量误差的影响。在