金属膨胀式真空自动校准系统

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真空技术是一门应用广泛的基础学科,尤其在电力领域,真空技术的应用覆盖了从发电、输变电、到用电设备加工制造等各个方面。在某些应用领域,真空测量的准确度关系到真空产品的质量及运行性能,从而对真空校准的范围及精度提出了更高的要求。 目前真空校准领域的现状是自动化程度不高,国内还未出现真空自动校准系统,国际上也很少。随着计算机技术的发展及各种电动控制工具的出现实现真空校准的自动化不仅可行而且非常必要了。 本文结合上海计量测试技术研究院的“低真空校准装置的改造”项目,开发了一套金属膨胀式真空自动校准系统。膨胀法校准具有制作简单、操作方便、校准效率高的特点,并且在低真空领域具有较高的校准精度。 本文设计了多级膨胀结构以拓宽膨胀法在高真空区的校准范围,介绍了前级压力和气室体积的测量方法,讨论了影响校准精度的温度变化、气体吸附等干扰效应,并提出了解决方案。系统采用了电气动阀门及带计算机通讯接口的测量仪表使得自动控制成为可能。采用工控机、PLC(可编程控制器)上下位机的控制方式实现了系统自动抽真空、膨胀校准、数据采集与处理、检测报告编辑等功能。
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