随着电子制造业的高速发展,电子封装装备对其核心运动平台及系统提出了愈加苛刻的要求,要求实现高速、高加速度(10g-15g)运动条件下的微米级(1-3μm)精密定位。本文面向电子制造的高速精密运动平台开展研究,以高速、高精密定位等运动要求设计并搭建单轴宏微运动平台,开发集成控制系统,通过动力学建模和减振方法及相关实验,验证平台性能。本文的主要研究内容概括如下：1、深入调研高速精密运动平台的国内外研究现状,分析精密运动平台的关键技术及其存在的难点问题,确定本文的研究内容及研究重点。2、提出一种宏微复合驱动方案,即基于音圈电机的宏运动和基于压电陶瓷的微运动相结合,实现高速大行程精密定位的运动要求；提出一种双光栅尺复合定位方法,宏运动采用增量式光栅尺、微运动采用绝对式光栅尺的位置信号反馈方式,实现平台的精密定位；并设计出单轴宏微运动平台模型。3、对所设计的宏微运动平台进行功能设计和集成控制系统开发,实现电机、压电陶瓷、增量式光栅尺、绝对式光栅尺等信号的采集与运动控制集成。4、建立宏微运动平台的动力学模型,再利用MATLAB Simulink仿真工具对运动平台进行仿真分析；分析高速宏微运动平台的振动问题,提出基于压电陶瓷驱动器的主动减振方法。5、搭建宏微运动平台,开展宏微运动平台主动减振方法的实验研究,基于所开发的集成控制系统对平台的运动特性及精度进行分析测试。