【摘 要】
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随着科学技术的飞速发展,各行业对振动测量技术提出了更高的要求,尤其在微机电系统和数据硬盘组件等精密器件的研究和开发中,用到的振动测量仪器需要达到纳米级分辨率且拥有良好的动态特性。激光多普勒干涉测振技术就是在这样的形势下以其高分辨率非破坏性的优势成为现代测振技术研究的主流。针对国内激光多普勒测振分辨率较低、信号噪声严重的研究现状,本论文提出一种基于声光调制的双通道激光相干振动测量技术,以期实现高分辨
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随着科学技术的飞速发展,各行业对振动测量技术提出了更高的要求,尤其在微机电系统和数据硬盘组件等精密器件的研究和开发中,用到的振动测量仪器需要达到纳米级分辨率且拥有良好的动态特性。激光多普勒干涉测振技术就是在这样的形势下以其高分辨率非破坏性的优势成为现代测振技术研究的主流。针对国内激光多普勒测振分辨率较低、信号噪声严重的研究现状,本论文提出一种基于声光调制的双通道激光相干振动测量技术,以期实现高分辨率和高信噪比的现场测量。首先,本论文对激光相干振动测量的数学方法进行了研究,建立了基于声光调制的双通道激光相干振动测量系统数学模型。应用激光多普勒测量原理,保证了系统具有较高的测量分辨率;通过激光相干测量结构的设计,提高了光路的抗干扰能力;采用声光调制在测量光和参考光之间引入80~120MHz的稳定频差,进一步提高了系统的测量分辨率。其次,经过对声光器件性能的实际测试,系统选定声光调制驱动模块的中心频率为100.4MHz,此时衍射效率达到88.9%,最大限度提高了系统的测量分辨率;针对传统光路复杂且难以调试的问题,引入光纤进行传导并研究出高效的光纤耦合系统,简化了光路,提高了系统的抗干扰能力。再次,鉴于从光电探测器输出的信号非常微弱且频率成分复杂的特点,研究出分步移频解调电路,提高了系统的信噪比;采用快速傅里叶变换算法将多普勒信号转换到频域进行分析,提出Zoom-FFT和比值校正相结合的算法,解决了频谱分析精度不高的问题,精准提取多普勒频率,实现高分辨率和高信噪比的振动测量。最后,对激光相干振动测量实验系统进行了振动测试及测量不确定度的评定。结果表明,本论文提出的基于声光调制的双通道激光相干振动测量系统在0.1Hz~4.5kHz的扫频测试中动态误差小于1%,在频率为160Hz,幅值为80um处的测量不确定度(k(28)2)小于0.6%,而且在现场测量中展现了较高的信噪比和测量分辨率,具有一定的可行性和实用意义。
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