【摘 要】
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该文主要研究了PLD方法制备MgF光学薄膜及类金刚石薄膜(DLC),对MgF薄膜,我们系统研究了激光能量、衬底温度等对其表面形貌、结构以及化学组分的影响,还进一步分析了MgF薄膜的
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该文主要研究了PLD方法制备MgF<,2>光学薄膜及类金刚石薄膜(DLC),对MgF<,2>薄膜,我们系统研究了激光能量、衬底温度等对其表面形貌、结构以及化学组分的影响,还进一步分析了MgF<,2>薄膜的光学透过率及折射率;对DLC薄膜,首先讨论了H<,2>、N<,2>气氛对于DLC薄膜杂化态的影响,其次重点对其场发射性质进行了测试分析.
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