随着微/纳技术发展,精密高端装备中越来越多的使用高精度微型零件,并且工程应用中对微型零件的需求也在不断增加。然而,如今制造出的部分微型零件仍达不到使用要求,特别是要求十分苛刻特殊微型零件。因此,市场上迫切需要高端化、高精度、高效率的加工、检测装备,以实现微型零件的高精密制造与检测。针对目前微型加工、检测装置类型少且结构单一,工作精度难以提高等难点。本文采用具有定位精度高、响应速度快的柔顺微定位平台来设计微加工检测装置,以实现微型零件的精密加工、检测一体化,这对未来微型零部件加工、检测有着重大探索意义。基于此,开展采用柔顺微定位平台的微加工检测装置的研究,对我国微型零件加工、检测具有重要价值与科学意义。本文依托于机械传动国家重点实验室,针对微加工检测装置的工作原理、结构设计、柔顺微定位平台运动和承载特性、以及计算仿真装置加工和检测效果等进行研究。主要研究内容如下:（1）研究了微加工检测装置工作原理及其设计:采用柔顺机构学、机械原理、精密机械设计等理论,探讨了微加工检测装置工作原理及组成,设计并选取了装置组成部分,分析了装置加工检测方法,确定了加工检测一体化的微加工检测装置整体结构。（2）研究了微加工检测装置中微定位平台的运动和承载特性:通过坐标变换原理,建立了微加工、检测中各坐标系间关系,获得了微定位平台与刀具/测头间的相对运动关系;基于胡克定律、变形协调原理分析了微定位平台运动规律,利用结构的几何关系、欧拉-伯努利梁理论和梁的精化理论,推导了微定位平台运动分析中关键参数的数学解析模型和微定位平台承载解析模型,该解析模型考虑更多平台变形规律,其预测精度相比同类模型更高,并获得了微加工检测装置中微定位平台的运动和承载变化规律。（3）研究了微加工检测装置计算仿真过程:通过分析微定位平台整体结构、驱动装配、运动定位中的误差因素以及加工、检测过程中所存在了误差因素,建立了微定位平台综合误差模型和装置加工、检测误差模型,针对微定位平台中不同类型误差采用不同误差补偿控制方法;结合微定位平台的运动、承载解析模型,计算仿真模拟了装置加工和检测,确定了装置设计方案的可行性和微定位平台的适用性。（4）研究了微加工检测装置仿真加工、实验测试以及特性评价:采用现代设计方法、有限元仿真软件及实验测试技术,针对微加工检测装置设计方案,模拟了装置加工过程,对比分析了计算仿真加工与软件仿真加工结果;搭建微定位平台运动和承载测试平台以及装置测量测试平台,对计算仿真检测与实验检测结果进行了对比分析,评价了微加工检测装置特性,探究了微定位平台运动分析模型和承载模型正确性、计算仿真加工、检测的可行性,验证了微加工检测装置微传动平台原理、设计方案及分析的合理性。