四针状氧化锌晶须的场发射特性研究

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作为半导体氧化物材料,氧化锌(ZnO具有优异的电、磁、光、力学和化学等宏观特性,广泛应用于精细陶瓷、紫外线屏蔽、压电材料、光电材料、高效催化材料、磁性材料等领域。由于ZnO具有负的电子亲和势,高的机械强度和化学稳定性,而且在高场强下,表现出强烈的能带弯曲,因此,被认为是最有前途的场发射阴极材料之一。本论文首先研究了四针状氧化锌晶须(T-ZnOw)的场发射性能,结果表明,通用的量产T-ZnOw开启电场和阈值电场可分别达到3.7V/μm和6.9V/μm,场增强因子β为2315。采用固溶法制备了Al3+掺杂的T-ZnOw样品,通过分析表征证明Al元素主要是以Al3+形式替换ZnO晶格中Zn2+,形成替位式杂质;且Al3+掺杂未改变T-ZnOw的微观形貌和六角纤锌矿结构;随着Al3+掺杂量的增加,晶格常数c减小。光致发光谱显示,0.5mol%Al3+掺杂T-ZnOw具有较好的结晶平衡,可减弱深能级缺陷发光;Al3+掺杂有效地改变了T-ZnOw内部的载流子浓度,使拉曼光谱向高频方向移动。紫外可见光谱显示,Al3+掺杂使T-ZnOw吸收边出现“蓝移”现象,通过改变Al3+掺杂量,可使T-ZnOw禁带宽度在3.2eV~3.3eV之间连续可调。利用丝网印刷技术制备了T-ZnOw薄膜,并通过热处理工艺改善了其场发射性能,开启电场和阈值电场可分别达到2.6V/μm和5.2V/μm,场增强因子β值为4129。场发射测试表明,Al3+掺杂可极大地提高T-ZnOw的场发射性能,当Al3+掺杂含量为0.5mol%时,其开启电场和阈值电场分别达到0.74V/μm和2.6V/μm,β值为30249,发射点密度可达103/cm2,并具有较高的电流稳定性。
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