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随着超精密加工技术、精密工作台性能检测、微电子技术与生物医学工程等技术的迅速发展,对精密平台的三自由度检测技术及仪器提出了更高的要求,既要求实现三自由度的同时测量又要求达到纳米级的测量精度。本文依托GF技术基础项目,设计了一种基于法拉第效应的激光外差干涉三自由度测量方法,并对测量方法的各项关键技术进行了研究,通过搭建完整的测量系统,最终实现了大范围、高精度的三自由度同时测量。论文介绍了国内外位移角度同时测量的研究现状,提出了一种基于法拉第效应的激光外差干涉三自由度(X-Y-θ)测量方法,分析了基于法