【摘 要】
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随着微纳电子机械系统(MEMS)的快速发展,对于稳定可靠的微型长效能源的需求日趋紧迫。辐伏同位素电池因具备寿命长、单位能量密度高、抗外界干扰能力强、稳定可靠且无需维护和更换以及易于微型化与集成化等特点,是一种理想可靠长效的微型能源,成为MEMS和新能源领域的重要发展方向。辐伏同位素电池中最重要的是换能单元中的半导体材料,掺硼单晶金刚石因其优异的综合性能被广泛认同为同位素电池换能单元的最理想的候选材
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随着微纳电子机械系统(MEMS)的快速发展,对于稳定可靠的微型长效能源的需求日趋紧迫。辐伏同位素电池因具备寿命长、单位能量密度高、抗外界干扰能力强、稳定可靠且无需维护和更换以及易于微型化与集成化等特点,是一种理想可靠长效的微型能源,成为MEMS和新能源领域的重要发展方向。辐伏同位素电池中最重要的是换能单元中的半导体材料,掺硼单晶金刚石因其优异的综合性能被广泛认同为同位素电池换能单元的最理想的候选材料。本文对掺硼单晶金刚石外延生长及基于外延单晶金刚石的同位素电池能量转换单元的制作技术、电学性能进行从材
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