STO/YBCO集成薄膜的脉冲激光沉积及性能研究

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【摘要】

：

SrTiO3(STO)薄膜在其居里温度附近（~40K）具有介电常数随电场强度变化而变化的性质，同时STO在10GHz以下介电常数没有频率色散性。而YBa2Cu3O7-x(YBCO)高温超导薄膜具有微波表面电阻极低的性质，Rs（10GHz,77K）<1mΩ，并且，STO和YBCO晶格结构和化学相容性均匹配良好。因此，STO/YBCO集成薄膜可用于制作滤波器、移相器、谐振器等微波可调器件。本论文主要研

【作者】

：

李德红

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2003年02期

【关键词】

：

YBCO STO 铁电薄膜脉冲激光沉积

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