BCN薄膜的制备和表征

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【摘要】

：

B-C-N相的特殊性质引起了人们浓厚的兴趣,以高纯B4C(99.99%)靶所制备BCN薄膜由于具有优异的力学性质和耐磨性,可望在某些领域替代类金刚石膜(DLC)。BCN薄膜的制备方法很多,如化学气相沉积及物理气相沉积等。本论文采用了双离子束溅射沉积技术在Si (100)、NaCl和石英基片上在不同的工作参数下成功的制备了BCN薄膜,研究了工作参数对BCN薄膜结构及性质的影响。在实验中,用Ar和高纯

【作者】

：

杨旭敏

【机构】

：

苏州大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

BCN 表面粗糙度纳米硬度弹性模量

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