随着微纳米技术的不断发展,微纳米材料所具有的很多独特特性不断为大家所认识,纳米材料被认为是极具潜力的纳米电路的结构单元和性能超群的敏感材料。在这些具体的器件应用中,需要将纳米材料放置在预先设计的微纳米结构中。例如,在采用纳米结构作为敏感元件构造电学传感器时,通常需要将作为传感材料的纳米结构跨接在两电极之间,以便利用将其特性随测量对象的变化以电信号的形式传出。所以有选择地将微纳米材料安放到指定的位置,是它在传感器及其它电学系统应用中的首先要解决的问题。本论文围绕新型纳米氧化锌半导体材料,研究了其在毫米间隙和微米间隙电极条件下,介电泳操控的主要影响因素和操控规律,并在此基础上开展了湿度传感器方面的研究工作,取得了多方面创新性的研究成果。主要研究内容包括:通过水热法制备了纳米氧化锌棒状结构。并对所制备的纳米氧化锌结构进行了性能表征,为制作基于纳米氧化锌的湿敏传感器提供结构丰富的敏感材料。采用大尺寸的二氧化硅棒状结构在自行制作的毫米间隙电极中间进行介电泳操控原理性实验,以便了解介电泳操控的主要影响因素,并对与该操控电极结构运用阻抗测试的方法进行了湿度测试,实验结果表明,该种湿度传感器具有很好的灵敏度及重复性。该工作同时为之后的电极小型化做好准备。采用蒸镀、光刻等标准IC工艺制作多种图形多种间隙的微米级电极结构。利用水热法ZnO纳米结构的比表面积大,吸附性好的特点,将其与微电极结合,运用介电泳操控的方法将ZnO纳米棒定位于电极中间,主要从电极间隙、外加电压大小、频率、溶液浓度、电极形貌等方面来研究介电操控的主要影响因素,并利用该电极制成湿度传感器,从灵敏度,稳定性,重复性,抗干扰等方面来研究传感器在不同湿度情况下的性能。研究结果表明,氧化锌纳米材料是一种很有前途的湿敏材料同时基于该材料的的湿度传感器也具有一定的潜在应用价值。开展了对无线传感器的初步研究。利用基于介电泳操控的纳米氧化锌棒湿度传感器速度快,输出为数字量的特性,制作了一个无线传感器系统样机。该无线传感器通过现有的GSM发射模块发射由该湿度传感器感测的湿度数据,并通过GSM手机网络对用户手机发送短信,由于现有的GSM覆盖率很广,所以该传感系统几乎可以实现无盲点的数据传输。该系统样机有作为无线传感器网络中节点的价值。