【摘 要】
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光学表面的亚表层损伤严重影响着光学系统的抗激光损伤阈值、大型光学系统的成像及镀膜质量、系统的长期稳定性等重要性能,已经成为制约能源、军事、高新技术科研及生产领域进一步发展的瓶颈。因此研究适用于光学表面亚表层损伤的检测技术是当今光学工程领域研究的一个热点问题。激光扫描共聚焦显微技术在生物、医学、材料等行业中得到了较广泛的应用。本文将激光扫描共聚焦显微法应用于光学表面亚表层损伤的测量中,主要研究内容主
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光学表面的亚表层损伤严重影响着光学系统的抗激光损伤阈值、大型光学系统的成像及镀膜质量、系统的长期稳定性等重要性能,已经成为制约能源、军事、高新技术科研及生产领域进一步发展的瓶颈。因此研究适用于光学表面亚表层损伤的检测技术是当今光学工程领域研究的一个热点问题。激光扫描共聚焦显微技术在生物、医学、材料等行业中得到了较广泛的应用。本文将激光扫描共聚焦显微法应用于光学表面亚表层损伤的测量中,主要研究内容主要包括以下三个方面：1本文首先在分析光学表面亚表层损伤的成因、分类的基础上,将经典的Mie氏
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