纳米材料因其量子尺寸效应、表面与界面效应、介电限域效应等,使其具备了异乎寻常的光学、热学、电学、磁学、催化和超导等性能。作为21世纪最重要的材料之一,纳米材料在电子学、能源技术、先进工程材料和催化等领域大放异彩。以石墨烯为代表的二维材料具有独特的二维层状结构,具有量子尺寸效应的特殊物理性质,其电子和光学性质发生了非常显著的变化,因此二维材料在新材料应用方面具备更多的优势,例如其具有柔性和高的透明度。二维材料在可穿戴智能器件和柔性存储器件等领域应用前景十分广阔。二维材料的结构和成分可以调整,因此衍生出性能的多样性,近年来二维材料还被应用于开发光催化剂、传感器、纳米反应器和纳米容器等。本文采用了磁控溅射和真空硒化法制备WSe₂纳米薄膜,用化学气相沉积法制备GeSe₂纳米薄膜。采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和振动样品磁强计（VSM）对薄膜样品进行测试表征。论文的主要内容如下:（1）用两步法制备WSe₂纳米薄膜,并研究基底、钨薄膜退火与否以及钨薄膜溅射时长对纳米薄膜结构的影响。蓝宝石基底上晶粒取向度更高,采取退火处理有助于细化晶粒尺寸且能得到晶粒取向度更高的WSe₂样品,延长钨薄膜溅射时间有助于WSe₂晶粒长大使样品的结晶度更高。（2）用化学气相沉积法制备GeSe₂纳米薄膜,并研究了保温温度和保温时长对GeSe₂纳米薄膜结构的影响。较高的温度下得到的GeSe₂纳米薄膜比较均匀,在高温中保温7min效果最佳,得到更为均匀、且致密性最好的纳米薄膜。通过对GeSe₂纳米薄膜的磁性进行测试,验证了我们得到的结论,也发现GeSe₂纳米薄膜具有铁磁性,在存储器等领域具有潜在应用。