作为重要的大气窗口,8μm～12μm是常用的红外波段,涵盖了常用的发动机、驱动设备和燃气等热源所发出的红外波波长范围。常用于探测车辆、飞机和舰艇等目标。本文所进行的工艺研究是针对某型直升机机载观瞄系统中红外光学元件的减反射膜镀膜加工。系统中红外光学元件所使用的基板材料有锗(Ge)和硒化锌(ZnSe)两种,对薄膜的技术要求为：8μm～12μm范围内平均透射率不小于95%。针对要求,参考红外减反射光学薄膜的常用加工方式,并考察已有的镀膜、测量设备和具备的其他条件。确定选择在真空状态下使用电阻热蒸发和电子束蒸发这种最为常见和经济的沉积方式来沉积薄膜材料,同时利用离子源辅助沉积技术用以提高所制备光学薄膜的物理特性。在确定了试验方式后,编制了试验方案：首先,依照经典薄膜理论中减反射膜的光学原理,确定了薄膜的初始模型。然后,分析了常用的红外薄膜材料的具体性能,并根据需要对材料进行了选择。选取了真空度、温度等影响材料特性的过程参数并在确定的状态下得出优选材料的材料参数,并将材料参数导入膜系软件中。最后,选择适当的优化方式对初始膜系设计进行了进一步的优化,设计出较为理想的膜系结构设计方案。在锗(Ge)和硒化锌(ZnSe)两种材料基底上将确定的试验方案分别进行了试验,并对试验结果进行光谱及耐受测试。测试结果为：在8μm～12μm范围内,锗(Ge)和硒化锌(ZnSe)基底上平均透射率分别为96.1%和97.8%,并且能够承受耐高温、湿热等恶劣环境的测试。在锗(Ge)和硒化锌(ZnSe)基底上镀制的减反射薄膜满足系统技术要求。