测试行业是微电子产业发展中的一个重要环节，而测试设备的发展又是测试行业发展的重中之重，因此研制结构合理、具有高效测试效率的测试系统始终是我们CAT从业人员所面临严峻挑战之一。本文的工作是在国家“八五”重点科技攻关项目“大型测试系统”的基础上，在面向市场和应用的方向上所做的延伸性的研究工作，提出了新型的支持异构并行测试的测试系统结构。新型系统融入了成熟的计算机技术以及网络技术，具有良好的性能和发展前途。 测试系统的设备框架和组织的合理性不仅直接决定着系统的成本，而且还会影响到测试系统的整体性能和测试过程中的效率。因此本文从测试系统的结构入手，首先对传统的测试系统体系结构进行了剖析，并且分析了它们在应用中存在的局限性，在此基础上，提出了异构并行测试的思想。新型系统采用类似Client／Server结构的两级分布式智能化结构，系统中的主机为控制中心，各异构的子测试仪按照统一的标准通过通信线路与主机相连，并且子测试仪都拥有一定的智能性，可以独立完成各自的测试任务，可以在主机的协调下实现完全并行的实时测试。系统将测试过程中的数据处理和实时测试控制分离开来，分别交由主机和子测试仪来完成，彼此间通过通信线路进行协作，由于数据处理为离线功能，实时性要求不高，因此这样的功能分布机制一方面不会损害测试的实时性，同时还有效地使主机资源得到共享，降低了系统的成本，为异构并行测试的实现奠定了基础。 在提出并分析了异构并行测试思想之后，论文从系统的硬件和软件两大方面对系统的设计实现给出了论述。模块化的结构是本系统的一大特点，它的实现需要硬件及软件两方面的支持，模块化不仅使系统能够很好地支持异构测试仪，而且使系统的配置更加灵活，拥有良好的扩展性。在硬件架构分析的基础上，文章又重点分析了通信线路的实现，因为它在很大程度上影响着系统的性能。另外面向对象技术以及多线程机制在软件系统中的实用，使主机更加容易地支持异构子测试仪，并且能更加高效地实现系统的并行性。 最后，文章介绍了ICT12—2000测试系统的实现，运行结果表明，该系统具有良好的异构并行性，具有较高的测试效率及吞吐量。并且系统具有安全友好的图形用户界面，易使用，再加上它良好的性价比，使该系统据有强大的生