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主动减振系统是精密制造、测量装备实现精度生成的必要保障，精密减振系统要处理的微振动具有频带宽、微幅值、来源复杂的特点，给精密减振系统的结构设计和控制设计提出了巨大挑战。被动隔振单元元件与传感器、作动器结合可以构成主动减振装置，但受限于传感器、作动器的体积，对于需要微幅精密减振的小型设备而言，这种主动减振装置结构复杂，体积较大。因此，对于需要进行微幅振动抑制的小质量精密设备，设计一种结构紧凑、集成度高的精密主动减振装置具有重要的实用意义。本文在分析了压电材料性能的基础上，将压电陶瓷作为主动减振