【摘 要】
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随着MEMS（微机电系统）的广泛应用，对微结构进行动态特性测试以获取微结构模态参数信息的需求逐渐增加。但由于现有的模态测试激励方法无法满足微小结构的振动激励，所以迫切需要新的模态激励方法以满足对微结构进行激励的需求。本文提出一种新的微结构模态激励方法——激光冲击激励方法，即利用激光与靶材相互作用时的冲击力作为激励源，实现对被测结构的激励。这种方法具有激励时间极短，激励脉宽很宽，非接触式激励，且对微
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随着MEMS（微机电系统）的广泛应用，对微结构进行动态特性测试以获取微结构模态参数信息的需求逐渐增加。但由于现有的模态测试激励方法无法满足微小结构的振动激励，所以迫切需要新的模态激励方法以满足对微结构进行激励的需求。本文提出一种新的微结构模态激励方法——激光冲击激励方法，即利用激光与靶材相互作用时的冲击力作为激励源，实现对被测结构的激励。这种方法具有激励时间极短，激励脉宽很宽，非接触式激励，且对微结构的特性影响较少等优点，是一种很好的微结构激励方法，具有广泛的应用前景。本文首先对激光冲击激励
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