压电微位移驱动器在精确定位与微控制等方面有广泛的应用前景。与其它驱动器向比，它具有体积小、分辨率高、响应速度快、可控精度高、散热小、低能耗、无电磁干扰等优点。由于以上优点，压电微位移驱动器得到了国内外的广泛重视。辐射电场型压电薄膜RFD(Radial field diaphragm)作为一种新型的压电微位移驱动器，有很大的研究价值。 　　 本文采用有限元分析与实验测试相结合的方法，对RFD的结构参数进行优化。主要研究内容包括以下几个方面：　　 (1)对压电晶体的力学、电学性能进行了讨论和研究了。从压电效应出发，对压电驱动的原理进行了阐述；　　 (2)利用有限元理论，考虑压电材料的压电效应，对压电元件的机电耦合有限元方程经行详细的推导；　　 (3)利用Ansys11.0有限元软件，对RFD结构进行仿真分析，考察RFD结构参数的影响因素，给出优化参数；　　 (4)制作不同结构参数的RFD并且进行实验测试，得到RFD压电驱动器的有关性能参数；　　 (5)比较测试结果和仿真计算结果，验证仿真分析的有效性。　　 本文通过建立数学模型，采用有限元仿真的方法，优化RFD结构参数，研究驱动器的性能，并利用仿真结果指导实验研究。仿真与实验结果表明，合理的调整RFD的结构参数，有利于RFD性能的提高。