【摘 要】
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随着精密制造和加工、精密光电装备以及航空航天等相关领域的发展，人们对系统结构的稳定性和测量加工的精度提出更严格和苛刻的要求。而限制结构稳定性和系统精度提高的关键因素就是振动干扰的影响，特别是一些低频微振动的影响。低频微振动的影响已经成为制约很多尖端科技发展的瓶颈。针对这种情况，本课题提出了一种基于气浮支承结构的主动减振系统（本文中简称为主动气浮减振系统）。该系统可以广泛应用于精密加工车床，高精度测
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随着精密制造和加工、精密光电装备以及航空航天等相关领域的发展，人们对系统结构的稳定性和测量加工的精度提出更严格和苛刻的要求。而限制结构稳定性和系统精度提高的关键因素就是振动干扰的影响，特别是一些低频微振动的影响。低频微振动的影响已经成为制约很多尖端科技发展的瓶颈。针对这种情况，本课题提出了一种基于气浮支承结构的主动减振系统（本文中简称为主动气浮减振系统）。该系统可以广泛应用于精密加工车床，高精度测量系统和微电子加工设备等对振动敏感的尖端设备和系统。该主动气浮减振系统属于一种主被动混合减振系统
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