基于开放式法布里—珀罗干涉仪的光纤传感器

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光纤传感器由于它结构紧凑、轻便、抗电磁干扰和抗腐蚀的优点,已经有了长足的发展,其中相位调制光纤传感器由于采用干涉技术而具有很高的检测灵敏度。法布里-珀罗干涉仪结构的光纤传感器以其结构简单,体积小,高灵敏度,单光纤信号传输等优点得到了广泛的应用。本文制作了三种不同结构的开放式光纤法布里-珀罗传感器,在此基础上,进行了折射率、气压和温度测量方面的研究。主要工作如下:通过理论模拟研究了单模EFPI光纤传感器的干涉条纹对比度随空气FP腔长的变化关系,随着FP腔长的增加,干涉条纹对比度会逐渐下降。提出了粗毛细管结构的开放式EFPI光纤传感器的结构,利用玻璃焊剂将开放的空心毛细管和两段单模光纤焊接在一起,实现了传感器的整体无胶化。构建了基于SM125光纤传感解调仪的传感系统,利用交叉相关的信号处理技术实现对待测液体折射率的绝对测量。传感器与阿贝折射仪的测量结果对比,二者的差值在0.001RIU之内,传感器的分辨率可达10-5RIU量级,折射率灵敏度约为105nm/RIU。传感器的温度稳定性实验显示其温度灵敏度为39.59nm/℃,温度灵敏度较高,需要保持外部环境的温度不变来提高折射率测量的稳定性。利用飞秒激光微加工技术制作了一种开放式的EFPI光纤传感器,实现了折射率和气压的检测。所测压力和腔长具有极佳的线性度,传感器有很高的腔长/压力灵敏度为1.02nm/kPa。并介绍了利用柚子型光子晶体光纤与毛细管还有单模光纤熔接而成的开放式EFPI光纤传感器,可实现对低气体压力的高灵敏度检测,得到腔长/压力的灵敏度为0.468nm/kPa。两种传感器的灵敏度与之前的理论模拟结果几乎一致,腔长越大灵敏度越高。
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