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移相干涉术(PSI)是一种高精度、高灵敏度、非接触式的光学测试方法,但对测试环境要求较高,环境的振动是移相干涉仪测量主要误差源之一。目前,光干涉测量中抗振技术的研究是光干涉测试领域的重要研究课题,其中,同步移相抗振干涉术采用空间移相的方法,同时得到三到四幅移相干涉图,以达到克服振动影响的目的。作为一种真正的实时抗振方法,同步移相抗振干涉术已成为抗振干涉测量新的难点和热点。 论文运用琼斯矩阵推导了三种同步移相干涉方案的基本原理,在比较它们优缺点和可行性的基础上,选用光栅分光偏振移相方案。该方案是采用正交二维光栅产生对称分光,选取对于理想光栅衍射效率一致的(±1,±1)级衍射光作为测量分光路,使之分别通过偏振方向依次相差45度的一个偏振片组,从而形成相位差相差90度的四幅移相干涉图,而且采用一个CCD对四幅干涉图同时进行采集。在搭建的同步移相干涉的实验装置上,进行了干涉图采集,按照传统的四步移相算法,对被测波面进行了复原,最后全面分析了系统的误差。实验证明,该方案具有很好的抗振效果。