平板显示屏自动光学检测仪器用于检测、分析玻璃基板的缺陷,如今平板大型化趋势发展迅猛,为了满足高世代线玻璃基板的检测需求,研制出高速、高稳定性、高定位精度的大型检测仪器的任务迫在眉睫。其运动控制系统是实现玻璃基板检测的基础,是平板检测仪器的重要组成部分。选用安川运动控制器MP2300S作为运动控制系统的主控器,主轴直线电机选用安川SGLGW型直线电机,旋转电机选用安川SGMJV型。MP2300S通过M-II总线的负载分散功能将系统中IO模块及伺服驱动系统串联,实现多轴同步并行控制;采用雷尼绍光栅尺进行电机运动数据的采集与反馈,构成全闭环运动控制系统,保证了主轴直线电机的稳定性以及定位精度。利用MPE720编写梯形图程序,实现平板检测仪器工作的时序控制;编写了运动程序实现主轴直线电机运动。实验通过控制电机往复运动,采集记录电机速度等信息,分析了速度与加速度对电机同步性能的影响,结果显示速度越大电机同步性越差,加速度越小同步性越好;通过实验研究不同运动控制方式对主轴电机运动平稳性的影响,分别在有无负载的条件下用SVB、SVR两种控制方式控制主轴电机运行,实验结果显示负载对直线电机平稳性无明显影响,使用SVR控制直线电机运动,电机平稳性更好。