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碳纳米管是1991年发现的一种新型碳材料,它的制备、性能和应用的探索是纳米科学技术的一个重要分支。定向生长碳纳米管阵列更是集化学、物理、材料、电子、工艺等多学科于一体的交叉领域。碳纳米管阵列在平板显示,微波功率放大,数据存储等纳米电子学和纳米光子学领域有着广阔的应用前景和巨大的市场潜力。本文是定向生长碳纳米管阵列的前期工作,主要分为两部分:多孔氧化铝模板的制备和性质以及化学气相沉积法热解甲烷生长多壁碳纳米管。 第一部分系统研究了阳极氧化法制备多孔氧化铝模板的工艺参数和成孔机