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高功率固体激光装置中所使用光学元件的中频段小尺度制造误差将严重影响整个光学系统的性能。目前,光学元件中频误差主要用干涉仪来测量,而评价干涉仪系统本身性能的基本量是系统的传递函数。现有的干涉仪系统传递函数主要用标准台阶相位比较法测量,此法需要一块高精度台阶板。首先,根据干涉仪系统传递函数的测试原理,制定了台阶相位比较法测量干涉仪系统传递函数的实验方案,编写计算程序,测试了不同型号干涉仪的系统传递函数。另外分析了实验过程中不同截取波前大小、调焦程度和干涉腔的距离对传递函数测量结果的影响。其次,提出了两种