【摘 要】
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本文主要研究了一种非接触检测大曲率半径光学零件表面面形的方法,提出了在平面干涉仪上运用空间载频外差干涉术进行面形检测。该方法通过对在平面干涉仪上得到的干涉图的处
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本文主要研究了一种非接触检测大曲率半径光学零件表面面形的方法,提出了在平面干涉仪上运用空间载频外差干涉术进行面形检测。该方法通过对在平面干涉仪上得到的干涉图的处理和分析,得到了被测面相对指定标准球面的面形偏差,并模拟出球面干涉仪检测时的干涉条纹,克服了接触检测的缺点,为高精度、大曲率半径光学零件表面面形的检测提供了一种适用的方法。本文详细介绍了在平面干涉仪上利用空间载频外差干涉术检测大球面面形的基本理论和方法,完成了测量系统硬件和软件的研制。文中着重介绍了干涉图处理、边界延拓、FFT相位提取、解包裹及运用Zernike多项式进行波面拟合等关键技术,研制了小型平面干涉仪,完成了软件的编写,以数据和图形的形式显示了测量结果,并模拟出了待测表面与标准球面干涉形成的条纹图。最后,在实验的基础上,给出了实际检测的样例和结果,并对结果进行了误差分析。
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