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蓝宝石是一种氧化铝的单晶,具有优良的光学、物理和化学性能,广泛应用于LED衬底片、激光系统、军事窗口和智能手机屏幕等场合,其加工质量和精度直接影响器件的性能,特别是抛光过程的温度场会影响抛光液活性、磨粒团聚和抛光垫纤维特性等,对抛光质量及生产效率产生影响。本文针对蓝宝石抛光温度场以及工艺参数优化展开研究,具有理论意义和工程实际应用价值。本文在分析国内外相关文献资料的基础上,建立了蓝宝石衬底片化学机械抛光温度场有限元模型,并进行了计算机仿真,探讨了工艺参数对抛光温度场的影响;研制了蓝宝石衬底片抛光温度