【摘 要】
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薄膜材料的生长取决于生长界面的表面动力学过程,它集中体现在原子在表面上的粘接,扩散和蒸发,决定着成核、生长及岛之间的相互作用等一系列的表面原子间的相互作用过程。在原子水平上研究薄膜生长中各种复杂原子过程,对于制备工艺的控制和改进有重要意义。借助于计算机技术和新的实验观察设备如原子力显微镜,扫描隧道显微镜,低能电子衍射技术,高能电子衍射技术,人们对这一原子过程已有了初步的了解。本文利用薄膜生长的动力
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薄膜材料的生长取决于生长界面的表面动力学过程,它集中体现在原子在表面上的粘接,扩散和蒸发,决定着成核、生长及岛之间的相互作用等一系列的表面原子间的相互作用过程。在原子水平上研究薄膜生长中各种复杂原子过程,对于制备工艺的控制和改进有重要意义。借助于计算机技术和新的实验观察设备如原子力显微镜,扫描隧道显微镜,低能电子衍射技术,高能电子衍射技术,人们对这一原子过程已有了初步的了解。本文利用薄膜生长的动力学理论模型,通过计算机模拟及实验的方法得出薄膜生长过程中表面高度演化的特征及表面参量的变化规律。
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