超精密气磁轴承主轴系统静动力学特性及主轴控制研究

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气体轴承和磁悬浮轴承是目前回转精度最高的轴承,在军事、航天、计算机等领域得到了广泛的应用。静压气体轴承具有摩擦极小、无渗漏、无污染等优点,但不易于控制,加工难度高。磁轴承具有无磨损、可控性好等优点。本文首先阐述了气体轴承和磁轴承的发展概况,并详细阐述了两种轴承的分类和特点。由于静压气体轴承和磁轴承各自所表现出来的优点可以相互弥补彼此的不足,静压气体轴承与磁悬浮轴承的联合使用可以提高轴系的回转精度。本文研究了一种超精密气磁轴承主轴系统,并对系统各轴承的形式及参数进行了分析。系统由两个静压气体轴
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