【摘 要】
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该文通过P-型金刚石薄膜/N-型立方氮化硼单晶的异质制备方法的探索,对金刚石薄膜的P-型掺杂、立方氮化硼单晶的N-型掺杂及P-型金刚石薄膜、立方氮化硼单晶的欧姆接触进行了系
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该文通过P-型金刚石薄膜/N-型立方氮化硼单晶的异质制备方法的探索,对金刚石薄膜的P-型掺杂、立方氮化硼单晶的N-型掺杂及P-型金刚石薄膜、立方氮化硼单晶的欧姆接触进行了系统研究.尤其对P-型金刚石薄膜/N-型立方氮化硼单晶异质结的结构特性进行较细致研究,克服了立方氮化硼单晶体积较小而造成不易测试的困难.
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