随着光纤通信和集成光电子学的发展，能够对1．55μm光通讯传输窗口的光信号进行放大并对损耗进行补偿的掺铒光波导放大器（EDWA）受到了人们的广泛关注。作为EDWA的核心，掺铒光波导薄膜的性能将直接影响到EDWA的光学特性，因此对掺铒光波导薄膜的研究具有重要意义。本文选择以PLZT作为掺杂铒离子的基质材料，采用溶胶凝胶法制备Er³⁺：PLZT系溶胶及其凝胶膜，利用凝胶膜自身的感光性，结合紫外掩模法制备Er³⁺：PLZT系条形波导。首先选用乙酸铅、钛酸丁酯、硝酸氧锆、硝酸镧和硝酸铒为起始原料，乙酰丙酮和丙烯酸为化学修饰剂，获得了稳定透明的Er³⁺：PLZT溶胶。当铒离子含量为6mol％时，制备的凝胶膜经650℃终处理30min后折射率为2．16，在光纤通信的低损耗窗口0．85μm、1．31μm和1．55μm波长附近的透过率均大于83％。利用凝胶膜良好的感光特性，制得了厚度约230nm的Er³⁺：PLZT条形波导。研究发现，Er³⁺：PLZT薄膜的吸收光谱在540nm附近有一吸收峰，对应于铒离子从基态⁴I_15／2跃迁到激发态⁴_S3／2所吸收光子的波长。为了使Er³⁺：PLZT波导达到应用时所需的厚度，本文通过添加二甲基甲酰胺（DMF）对Er³⁺：PLZT溶胶进行了改性，有效地提高了薄膜的厚度，制备的条形波导厚度达430nm；DMF改性后，薄膜在1．31μm和1．55μm波长附近的透过率分别提高了约4％和2％。吸收光谱在522nm、620nm、816nm附近各有一吸收峰，分别对应于铒离子从基态⁴I_15／2跃迁到激发态²H_11／2、⁴F_9／2和⁴I_9／2所吸收的光子波长。