摘要：液体静压导轨作为超精密加工机床的关键基础部件之一,对机床的加工精度起着决定性的作用。在查阅国内外相关研究文献的基础上,本文对静压导轨工作特性及其影响因素进行了相关研究。论文的主要研究工作如下：(1)采用理论建模方法,对半波及全波两种静导轨面形误差下溜板的运动直线度进行研究,建立了基于静导轨面形误差、溜板长度、行程、油膜刚度及油垫对数的溜板运动误差函数表达式,并分析了各参数对溜板运动直线度的影响规律。(2)采用计算流体力学方法,建立支承油膜流场模型,对静压导轨支承油膜的承载机理及承载特性进行了研究,分析了理论设计中难以考虑的支承表面粗糙度、油腔深度、节流孔孔长、节流孔入口及出口倒角对承载特性影响,研究结果表明油腔深度对承载特性几乎不产生影响,其他参数均会对油膜承载特性产生一定的影响,并通过实验进行了验证。(3)采用有限单元法研究导轨副在油膜压力及负载作用下产生的变形对导轨支承刚度及运动直线度的影响,得出导轨副在油膜压力及负载作用下会产生变形,导致导轨支承刚度和运动直线度均有所降低。对导轨副结构进行改进,新结构形式导轨副在油膜压力及负载作用下产生的变形对导轨支承刚度和运动直线度的影响均有所改善,将其采用在Nanosys-1000非球面加工机床X向液体静压导轨上,并通过实验验证了X向液体静压导轨设计的合理性。