真空烤盘炉是工业生产环节中的重要清洗设备,主要用于有效清除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。随着工业技术的不断提升,对真空烤盘炉的自动化程度、操作安全性和操作智能性等提出了更高的要求,使其能够实现自动化控制、操作管理、大量数据的实时记录和友好的人机界面,能很方便的设置工艺参数、下达工艺命令,从而对生产中的升温、阀门开关等动作实现快速精确控制,以提高真空烤盘炉的经济实用性。针对企业的实际需求,本文通过分析真空烤盘炉工作原理、运行方式并结合设备的自动控制原理和控制方法提出了建立真空烤盘炉控制系统的方案。设计了以三菱FX型PLC为控制核心的真空烤盘炉控制系统,实现了真空烤盘炉的控制要求和主要功能。该控制系统不仅提高了真空烤盘炉的操作性能,而且对各种数据的实时监控及采集保存方面有着很大的优势,本系统具备运行稳定、操作简单、可靠性高等诸多特点。本系统主要包括以下两大部分：(1)硬件设计：根据真空烤盘炉运行要求设计满足其运行方式的的一套自动控制系统,根据设计方案完成了外部硬件设备的选型以及外部电路控制。(2)软件设计：包括三菱PLC运行程序、VB6.0编写的上位机监控软件。实现了各个开关量的采集、阀门和流量计以及风机的过程控制、温度和真空值的采集、设计了用户权限管理,根据用户的权限级别进行不同的操作,实现对设备的安全性操作。本方案的目的在于采用PLC与温控仪表通讯控制温度的升降,通过工控机与三菱PLC的通讯,实现上位机对PLC的操作,编写的上位机软件实时记录各种操作,保存不同温度段的温度值,绘制温度曲线,根据各种查询方式方便快捷的查询到温度值,保证了真空烤盘炉的可操作稳定性,为企业的生产提供了安全保障,有效节约了企业的投资。归纳起来真空烤盘炉控制系统具有以下特点：(1)安全可控：以三菱PLC为控制核心,通过温控表的输出控制功率调功器的开关,避免了超温现象,保证了真空烤盘炉的安全操作。(2)方便快捷：通过工控机和三菱PLC的通讯,快速查询到PLC地址值,定期将采集上来的数值保存成文件,根据各种查询方式查询到各种数据,快速绘制温度曲线。(3)维护方便：管理、维护对于三菱PLC来实现,只需要对三菱PLC进行更换模块,重新写入PLC运行程序即可。