本文以盐酸羟胺、酸酐及对甲苯磺酰氯为原料合成了三种用于深紫外光刻胶的非离子型产酸剂N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯、N-羟基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯和N-羟基-3,6-内氧桥-4-环己烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,优化了中间产物的合成条件,对合成的三种产酸剂的结构进行了FT-IR、1HNMR表征,并对其进行了溶解性、热稳定性、溶液和乙二醇固体膜层中的紫外吸收性及光解特性测试,实验结果表明,N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯和N-羟基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯有良好的溶解性、热稳定性及紫外吸收性和光解特性,且N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯较N-羟基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯性能好,两种产酸剂的使用温度均可达150℃。用工业级试剂从100mL放大到2L合成了三种紫外光刻胶用主体树脂单体N-苯基马来酰亚胺、N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺和N-苯基甲基丙烯酰胺,与实验室制备的N-苯基甲基丙烯酰胺聚合合成了两种主体树脂聚苯乙烯共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺和聚N-苯基甲基丙烯酰胺共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺,对其进行了FT-IR和热性能测试,结果表明合成的两种主体树脂具有良好的耐热性能,玻璃化温度均在250℃以上。在本实验室工作基础上用所合成树脂和产酸剂及其他助剂进行配胶,进行光刻工艺实验,实验结果表明,所得光刻胶体系具有良好的耐高温性能(Tg≥250℃),聚苯乙烯共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺体系分辨率可达1μm。