随着液晶显示技术向高清、超薄方向快速发展,对液晶显示屏玻璃基板的缺陷检测要求越来越高;为了降低成本,生产过程中单块玻璃基板尺寸也越来越大。在此背景下,传统的接触式支承与传输技术装备已无法满足高世代玻璃基板生产要求,气体支承技术用于玻璃基板支承与传输已成为必然选择。本文结合“液晶平板显示屏自动光学检测仪器开发与应用”专项,对玻璃基板气浮支承与传输系统工程设计理论开展了以下研究工作:针对玻璃基板气浮支承与传输系统特点,建立了描述气膜流场的简化数学模型,分别研究了具有正负压气源的气浮传输系统气膜、气腔、节流器的压力和流量分布,利用阻抗原理获得全系统的压力流量系数;研究了小孔节流器和毛细管节流器特点,推导出了两种节流方式下气浮系统压力计算公式、流量计算公式;对玻璃基板气浮支承与传输系统稳定性进行了研究,给出了气浮承载系统稳定性判据。在理论研究基础上,对两种比较适合工程应用的正负压孔排布模型参数进行了仿真研究对比;完成了液晶平板显示屏自动光学检测仪器气浮支承与传输系统的参数设计,参与研制了液晶平板显示屏自动光学检测仪器工程样机,并在研制的工程样机上进行了实验,实验结果表明,样机的气浮系统主要性能指标达到了任务书提出的要求。本文研究成果对开放型薄板类零件的气浮支承与传输系统的设计具有普遍参考价值。