微加速度计普遍应用于导航、地震监测、游戏娱乐等领域。叉指式微加速度计具有成本低、稳定性好、温度系数小等优点,是加速度计中的代表。虽然MEMS加工技术日渐成熟,但不可否认仍然存在许多的不足和缺点。在叉指式微加速度计加工过程中的典型误差包括微加速度计极板的间隙误差和倾斜。同时在加工过程中,伴随着室温-高温-室温的温度循环,微加速度计极板表面的氧化层厚度发生变化。这些因素都会对微加速度计的性能造成一定的影响。目前,针对极板间隙误差引起的微加速度计性能变化的研究较多。随着微加速度计精度的提高,倾斜极板和极板表面的氧化层厚度对微加速度计性能的影响不可忽略。除此之外,电容边缘效应导致平行板电容附加一个边缘效应电容,对高精度的微加速度计性能产生不可忽略的影响。因此,为了进一步提高微加速度计的性能,有必要对边缘效应、平行极板和倾斜极板表面氧化层厚度对微加速度计性能产生的影响进行研究。主要内容有:1.极板表面存在氧化层时,对平行极板和倾斜极板的电容计算公式进行推导,并分析极板电容随氧化层的厚度变化的变化趋势。2.建立微加速度计表芯结构的多导体模型,并采用有限元软件COMSOL Multiphysics仿真计算了边缘效应电容的值。结果表明:敏感质量块不移动时,对于平行极板的微加速度计,边缘效应电容约占整体电容的12.95%;对于倾斜极板的微加速度计,边缘效应电容约占整体电容的13.12%。并针对平行极板和倾斜极板的微加速度计,分析了敏感质量块在敏感方向的位移与边缘效应电容的关系。3.理论推导氧化层的厚度对开环微加速度计静电刚度、灵敏度、线性度和零位的影响。并采用数值法计算考虑边缘效应时,微加速度计的灵敏度和线性度。最后,通过仿真和理论计算的结果对比,说明了边缘效应电容对微加速度计灵敏度和线性度的影响。