随着集成电路的不断发展,晶体管数目增加,集成电路的器件尺寸也在不断缩小,目前集成电路的量产工艺已缩小至纳米级。于此同时,互连线尺寸也在不断缩小,在集成电路工艺体系中,工艺技术以及材料都会影响互连线的电学参数,而互连线受到影响也会导致最终集成电路芯片的性能难以评估和芯片成品率的下降。在当前纳米级的芯片设计中,精确计算互连线的延迟对芯片的性能评估至关重要,互连寄生参数提取已成为集成电路设计中一个很重要的研究课题。本文提出了对离散几何法来提取寄生参数进行改进的方法。本文针对离散几何法单纯使用外心做参考点构建对偶网格的算法进行改进。离散几何法需要对求解区域进行离散,对于离散化处理后得到局部网格单元不佳的情况下,采用网格单元的重心或其他形心构建对偶网格予以修正替换该算法,在基于原始网格和对偶网格采用标量位作为未知量构建本构矩阵,该本构矩阵将依然具有正定性,可以改善迭代法求解原离散几何法构建的本构矩阵的收敛性。并将基于权重的Hodge算子引入电磁场场求解中,对离散后的单元网格进行加权,使用加权后的外心构建对偶网格再使用离散几何法进行计算,这样就不再需要在对局部网格进行修正。为了验证所提取的改进后的离散几何法算法的有效性,以及观察其原始网格与对偶网格的能量互补特性,并考察改进算法在寄生电容参数提取中的应用,在本文中已经列出来了部分算例来验证改进后的算法。