纳米银结构阵列的局域表面等离激元特性仿真及其在提高掺氧氮化硅发光效率中的应用研究

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【摘要】

：

贵金属(金、银)纳米结构的局域表面等离激元(LSP)近场增强特性是提高半导体器件发光效率的重要途径之一。本论文围绕有序排列、尺寸可控纳米银结构阵列的LSP对硅基半导体薄膜a-SiN_x:O材料发光效率的增强研究,对不同尺寸纳米银六角阵列在a-SiN_x:O介质中的LSP共振特性进行仿真,分析了纳米银六角阵列中纳米银尺寸和间距对实现LSP与有源层a-SiN_x:O共振耦合的影响,获得了蓝光最佳耦合状

【作者】

：

张文平

【机构】

：

南京大学

【发表日期】

：

2015年05期

【关键词】

：

局域表面等离激元纳米银阵列掺氧氮化硅内量子效率

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