铁电聚合物基非易失存储结构的电学性能研究

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聚偏二氟乙烯(PVDF)及二氟乙烯与三氟乙烯的共聚物P(VDF-TrFE)的具有自发极化强度相对较高、极化稳定性强、极化翻转时间短等优点,作为一种新型的铁电功能材料,已经受到越来越多的关注。本文基于铁电聚合物,分别制备了金属-铁电材料-半导体(MFeS)和金属-铁电材料-氧化物-半导体(MFeOS)两种非易失性存储结构,分别表征其形貌结构和电学性能,对器件的电学疲劳特性和数据保持能力做了研究。主要研究内容包括:1、对MFeS器件的电学疲劳特性进行了研究。在自建的Sawyer-Tower电路上,通过改变极化疲劳电压的频率,研究器件结构的疲劳特性,发现器件的疲劳速率对外加疲劳电压的频率有很强的依赖性,频率越高,疲劳速率越慢。同时,通过和MFeM结构疲劳速率的比较,得到了不同电极对于器件疲劳性能的影响。2、对MFeOS器件结构的电学性能进行研究。在极化过程中,观察开关比、记忆窗口和C-V回线的变化,得到:随着疲劳的深入,MFeOS结构的开关比减小,记忆窗口变化等现象,并尝试对其中观察到的现象做了解释。此外,我们对MFeOS结构的数据保持性能进行研究,研究写入电压的极性、幅度以及脉宽对MFeOS结构数据保持能力的影响,并加以解释。
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